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纳米二氧化铈抛光液,其具有较高碱性组分和较柔软的纳米磨料颗粒。
在这两者作用下,使硅片表面形成腐蚀软质层,从而有效地减弱磨料对硅片基体的刻划作用,提高抛光效率和抛光表面质量,相应的,提高抛光后硅晶片的精度。
…………
半个小时的时间,一晃眼就过去。
机器和硅晶片摩擦的声音逐渐减小,直到消失。
设备停下后,张经理和黄师傅齐齐把目光看向顾律。
顾律笑了笑,“拿出来吧。”
黄师傅小心翼翼的将通过使用二氧化铈抛光液制得的硅晶片取出来。